D6F系列传感器拥有引以为傲的高灵敏度，如蝴蝶振翼产生的微小气流，在规格书所标的环境温度和压力范围下，也能准确检测。D6F系列传感器主要有三种类型，包括流量传感器、流速传感器、差压传感器。其测试原理如图所示，在没有气体流动的情况下以加热器为中心，温度分布左右对称；如有气体流动，在气体流动的状态下热电堆发生变化，将温差作为热电堆的电动势之差进行传感，从而具有高灵敏度，可以准确检测微小的气体流量。

D6F-PH有两种使用方法，一种是直接连接管道，连接两个气体腔，直接测定气体腔的压力差。另一种是通过旁路设计的方式间接连接，检测管道的流量值，进行从差压到流量的转换计算。欧姆龙流量传感器的系列产品阵容十分丰富，适用于不同的应用需求。今天要介绍的D6F-PH系列是D6F 欧姆龙MEMS流量传感器家族差压型分类的成员。

D6F-PH可以用于检测不含灰尘、油污、油雾等物质的干燥空气的压差， 不仅使用方便，且因采用高流量阻抗有效降低旁路配置影响，比直接流量传感器拥有更高性价比。

欧姆龙D6F-PH具备直线补偿、温度补偿功能，通过ASIC的线性温度补偿实现D6F-PH的精度为3%RD（25~100% F.S），特别是在低压范围内的精度更好。相对于一般的差压传感器的FS精度保证，欧姆龙D6F-PH为RD精度保证，帮助设备实现更高精度的测量。

根据用户的不同需求，D6F-PH系列差压传感器，拥有三档测量范围：0~250Pa、-50~50Pa、-500~500Pa。针对超微差压检测，欧姆龙MEMS流量传感器推出了±50Pa的规格。

体积小，重量轻、产品设计结构灵活，是MEMS传感器与传统传感器相比的核心优势，D6F-PH系列差压传感器继承了MEMS传感器的基因，加载了小尺寸（1.55mm x 1.55mm，厚0.4mm）的流量传感芯片的它尺寸仅18mm x 16mm x 20.8mm，产品小型化可适用于空间狭小的应用场景中。

D6F-PH系列差压式传感器有两种封装方式，可采用基板连接和连接器连接。全新推出的歧管接头不需要管道可配管直接连接。不同规格的连接方式，为客户提供更高自由度的设计。

可应用于：气体检出器/分析装置、微差压计、VAV控制器、热交换器。此外，还可以应用在医疗器械方面，比如制氧机等。

欧姆龙MEMS传感器在传感技术和工艺方面拥有独特的优势，与不同行业的客户深入合作，推出创新的传感器产品，致力于将“感知”的触角伸向物联网的每个角落，让我们的未来生活更智能。