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欧姆龙研发了一款新型压力传感器,压力传感器应用了欧姆龙核心技术之一的MEMS技术,实现了世界顶级水平的高精度和低电流消耗,其特点主要在于以下几个方面:
2SMPP-02性能偏差小的MEMS压力传感器
1、超小型、低功耗的MEMS表压传感器
2、长6.1mm×宽4.7mm×高8.2mm的超小型。
3、比电容式压力传感器更优异的电气特性。
4、测量压力范围为0~37kPa。
5、偏置电压:-2.5±4mV
6、量程电压:31.0±3.1mV
7、0.2mW的低功耗。
8、受温度影响小。
9、量程电压:±1.0 %F.S.
10、偏置电压:±3.0%F.S.
一、检测原理:MEMS绝对压力传感器采用了针对血压计中压力传感器研发的压敏电阻方式。压敏电阻方式,是使用了通过加载在电阻元件上的力度变化所产生的电阻变化即压电效应,通过这一原理将压力转化为电流信号。 并且,为了测定大气压力变化,绝对压力传感器采用MEMS接合技术,将传感器芯片的内部进行真空密封。因此,能够感知与真空状态相比较大气压力的数值,也就是绝对压力值。
二、技术特长该传感器,欧姆龙长年研发的各种技术功能集中在一个芯片中,包括半导体回路设计技术、CMOS工艺技术、MEMS技术、压力传感器、模拟增幅回路、数字处理回路、不挥发性存储等。因此,实现了芯片的小型化、高机能化、耐噪性能的提升。 此外,该传感器使用MEMS接合技术,可扩大传感器芯片内部的真空室容量,将传感器的输入动态范围最大化。从而实现高精度。
结果能够达到50cm的判别。
■传感器外观